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產品詳細說明
產品特點
1.復定位精度±1um 2.超薄型、輕量化平臺-采用Mini stage Xyθ模塊化結構,實現無中座的薄且輕的機構 3.透過特殊交叉滾柱軸承施加預壓,達高剛性、高精度表現 4.中空結構設計,可作為光學式檢查裝置或導通測試器使用 5.在各運動軌道加入潤滑系統，提高對位平臺使用的壽命及精度 6.材料皆經超深冷處理,有效預防變型,大幅提升使用壽命,質量及效能 7.實行三次元全檢,保證滑臺出廠精度與質量
應用場景
新能源鋰電池設備，手機3C設備，印刷機械，光伏設備，光伏設備，光纖設備，光學設備，光通訊，半導體設備。
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