特征
緊湊設(shè)計(jì)的閥體,死角*小 閥體材料符合
SEMI F-20,“用于 UHP(超高純度)
*半導(dǎo)體制造應(yīng)用的規(guī)范 316LSS 材料”*大流量
顆粒生成*少
通過 UNILOK 自己的特殊技術(shù),水分、氧氣和碳?xì)浠衔锏呢暙I(xiàn)*小在經(jīng)過認(rèn)證的潔凈室中進(jìn)行清潔過程
采用 UNILOK 自己的電解拋光工藝,使接液區(qū)域具有出色的光潔度
Elgiloy? 隔膜材料具有很強(qiáng)的耐用性和
耐腐蝕性,可實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)循環(huán)壽命PCTFE 閥座材料具有出色的
耐化學(xué)性和耐熱性