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產(chǎn)品詳細說明
當與 INFICON IC6 薄膜沉積控制器配合使用時，INFICON Crystal 12 傳感器會自動更換晶體，而不會中斷您的流程。
每當晶體變得不穩(wěn)定或失效時，IC6 就會向 Crystal 12 傳感器轉(zhuǎn)盤發(fā)出信號，立即將新晶體旋轉(zhuǎn)到位，以進行連續(xù)沉積速率監(jiān)控。為了進*步減少停機時間，晶體可以預*裝載到*二個可選的轉(zhuǎn)盤中，然后可以快速輕松地與包含耗盡晶體的轉(zhuǎn)盤交換，從而*大限度地減少系統(tǒng)打開的時間。
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