INFICON Transpector? 單壓采樣 (SPS) 殘余氣體分析儀為目標(biāo)高壓工藝提供*佳的半晶圓和顯示面板保護(hù)。Transpector SPS 通過(guò)針對(duì)單壓力應(yīng)用的*靈敏的空氣泄漏和工藝污染檢測(cè),*大限度地減少晶圓和面板廢料。它提供業(yè)界**的檢測(cè)限和測(cè)量速度,以確保晶圓和面板輸出的質(zhì)量和數(shù)量。
Transpector SPS 通過(guò)為穩(wěn)定的高壓過(guò)程提供*可靠的過(guò)程監(jiān)控,*大限度地提高過(guò)程吞吐量和產(chǎn)量。該儀器將簡(jiǎn)單且具有成本效益的入口系統(tǒng)與經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的離子源和泵套件相結(jié)合,提供低風(fēng)險(xiǎn)和高回報(bào)的氣體分析解決方案。Transpector SPS 是*般真空和工業(yè)應(yīng)用的理想選擇,是真空電弧重熔 (VAR) 等冶金和熱處理應(yīng)用的成熟解決方案。Transpector SPS 是可配置的,并且可以根據(jù)特定應(yīng)用和預(yù)算進(jìn)行定制。可選擇標(biāo)準(zhǔn)孔板、毛細(xì)管和旁通管線(xiàn)組合來(lái)采樣從 1E-4 Torr 到大氣的過(guò)程壓力。