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產品詳細說明
監視和控制快速的過程變化
新型 Transpector XPR 3+ 殘余氣體分析儀 (RGA) 提供業界**的測量速度，可監測和控制現代半導體和顯示器制造所需的快速工藝變化。Transpector XPR 3+ 非常適合現場空氣泄漏、氣體純度、碳氫化合物和污染物監測。與定期上升率測試相比，使用 Transpector XPR 3+ 進行實時測量可提供卓越得多的產品保護。
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