低溫泵,氣體截留真空泵。
我們的泵涵蓋從 10 -3到 ≤ 10 -11 mbar 的壓力范圍。
工作原理是通過低溫冷凝、低溫吸附或低溫捕集將氣態(tài)物質(zhì)結(jié)合到泵內(nèi)的冷表面上。
低溫泵在真空側(cè)沒有任何機(jī)械運動、油或油脂潤滑的部件。
為了產(chǎn)生高或超高真空,冷表面/低溫板必須冷卻到足夠低的溫度。它們由 Leybold 的 COOLPOWER i 系列(吉福德/麥克馬洪原理)中經(jīng)過充分驗證、高度可靠的 或二 制冷機(jī)冷卻。