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產品詳細說明
德國dellmeco太陽能和半導體-SEMI DMS系列
SEMI DMS 系列中的 Dellmeco 泵專為半導體行業開發。DMS 泵的單獨組裝在 100 潔凈室中進行；所有部件都在這里用去離子水進行雙重清潔和測試。完成后，將它們雙重密封在薄膜中。
SEMI T 和 SEMI H 系列中與介質接觸的所有部件均由 PTFE 和 TFM 制成。SEMI E 系列中與介質接觸的所有部件均由 UPPE（超純聚乙烯）制成。必須檢查所有部件對介質的抵抗力。
優勢 覽
SEMI T、H 和 E 中沒有金屬成分
沒有彈性O形圈
免潤滑氣動馬達
在 100 潔凈室中進行組裝、清潔和泵測試，并采用密封包裝的雙重包裝
耐用的 TFM 隔膜
四種材料，適用于 大范圍的應用。200℃
由全材料制成，CNC 制造零件
許多附件，如脈動阻尼器、泄漏監測等。
與競爭對手的產品相比，組件減少了 40%
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