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產(chǎn)品詳細(xì)說(shuō)明
FPA-6300ES6a KrF光刻機(jī)用于大規(guī)模生產(chǎn)動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器（DRAM）、閃存和其他存儲(chǔ)設(shè)備、邏輯器件如個(gè)人計(jì)算機(jī)用微處理器、濾色器和其他成像傳感器及圖像處理器件。
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