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產(chǎn)品詳細(xì)說明
佳能新推出的FPA-3030EX6 KrF光刻機(jī)，支持模擬芯片制造，應(yīng)用于物聯(lián)網(wǎng)和Power Device的傳感器和通信設(shè)備。FPA-3030EX6繼承上*代FPA-3000EX6（1999年9月發(fā)布）的功能，同時(shí)也提供特殊基板和功能的兼容性，用于制造多種半導(dǎo)體器件。
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