針對于目前大屏幕電視的畫質需求從全高清向4K/8K的急速變化,以及今后OLED電視面板的高精細化需求,佳能開發了可對應*8代玻璃基板(2200×2500mm)的高精細面板量產設備MPAsp-H803。
MPAsp-H803較以往的設備擁有更高的解像力性能,即2.0μm(Line/Space),也擁有了更好的重疊精度,這得益于佳能擁有了20年以上,成功的光學系統設計經驗以及高精度的光學加工技術。而佳能*貫堅持的無拼接式*次性曝光光學系統,使高解像力性能與生產安定性得到了并存。在結構方面,剛性的強化提升了承載臺的移動精度,因此稼動率擁有了更好的表現。對于目前市場上出現的超大型屏幕電視,佳能曝光設備可以對應*大110英寸面板的量產需求。