Canon 超高精細FPD曝光機MPAsp-E813系列

　　核心結構的鏡反射（Mirror）光學系統和照明系統得到了重新設計，MPAsp-E813系列實現了目前***高水準的解像力性能，既1.5μm（Line/Space)和2.0μm（Contact Hole)，這也意味著可以量產800ppi(Pixel Per Inch）以上的超高精細面板。而佳能*貫堅持的無拼接式*次性曝光光學系統，使得高解像力性能與生產安定性得到了并存。在結構方面，剛性的強化提升了承載臺的移動精度，因此稼動率擁有了更好的表現。其他方面，新型的倍率補正機構及溫控系統，可以較以往擁有更精細更穩定的重疊精度。新型的對位系統使得高速高精度的對位計測成為可能，從而顯著提升了設備的生產節拍，在此之上佳能還能提供選購件，使生產節拍獲得進*步的提升。*后在輕薄化需求方面，MPAsp-E813系列增強了玻璃基板的傳送能力，可對應厚度為0.3mm的玻璃基板。