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產(chǎn)品詳細說明
具有增強電弧控制和內(nèi)部負載匹配的低頻系列，適用于 40 kHz 反應濺射應用
PEII 系列電源是雙磁控濺射、作為有效真空清潔工具以及多種 PECVD 應用中值得信賴的標準。
可靠的水冷設計
提供對功率、電壓或電流的嚴格輸出調(diào)節(jié)，測量精度為 1%
與可編程邏輯控制器 (PLC) 兼容
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