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產(chǎn)品詳細(xì)說(shuō)明
Hitachi metals Area ? FC-R7800 系列提供精確的流量控制以及金屬密封件的耐腐蝕性和高泄漏完整性，適合大多數(shù)氣體控制應(yīng)用。
特征
耐腐蝕設(shè)計(jì)
金屬密封件
VCR ?、Swagelok ?兼容連接
滿量程流量范圍為 10 sccm 至 200 slm
常閉或常開電磁控制閥
He 的泄漏完整性為 1 × 10 -10 atm-cc/sec
好處
快速響應(yīng) - 設(shè)定點(diǎn)之間的流量穩(wěn)定時(shí)間 < 1 秒
出色的可靠性
輕松集成 - 標(biāo)準(zhǔn)連接器和尺寸
卓越的結(jié)果 - 高品質(zhì)的薄膜特性
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