KLA 探針式輪廓儀HRP -260系列

 　　HRP -260 是*個高分辨率、自動化探針式輪廓儀，提供從幾納米到 300 微米的臺階高度測量功能。P-260支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D和3D測量，掃描范圍可達 200 毫米且無需拼接。HRP?-260 配置了與 P-260 相同的功能，但增加了高分辨率樣品臺以獲得類似 AFM 的掃描結果。HRP 系列高分辨率輪廓儀具有*進的圖形識別算法，可增強系統之間程式的可傳輸性，從而實現7x24小時全天候生產。