KLA 納米壓痕儀iMicro系列

 　　iMicro納米壓痕儀可輕松測量硬質涂層、薄膜和小尺寸材料等。其準確、靈活，并且用戶友好，可以提供壓痕、硬度測試、劃痕和納米*萬能試驗等多種納米力學測試。作動器易于更換，能夠提供大范圍的動態載荷和位移，對于從軟質聚合物到硬質金屬/陶瓷等材料，均可以進行準確而可重復的測試。模塊化的功能選項可以適配各種應用：材料力學特性圖譜、頻率相關特性測試、劃痕和磨損測試以及高溫測試。iMicro提供*整套的擴展功能選項，包括樣品加熱、連續剛度測量、NanoBlitz3D/4D材料力學性能成像、Gemini 2D作動器用于摩擦學和其它雙軸力學測量。