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產(chǎn)品詳細(xì)說明
61.3 控制蝶閥提供出色的壓力控制性能。憑借其快速而精確的運動控制器（0.1 秒），它是 CVD 和 ALD 工藝中精細(xì)控制的完美解決方案。該板充當(dāng)節(jié)流元件并改變閥門開口的傳導(dǎo)性。61.3 的集成壓力控制器計算所需的板位置，以盡快達到設(shè)定壓力。
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