特征
緊湊設計的閥體,死角*小 閥體材料符合
SEMI F-20,“用于 UHP(超高純度)
*半導體制造應用的規(guī)范 316LSS 材料”*大流量
顆粒生成*少
通過 UNILOK 自己的特殊技術,水分、氧氣和碳氫化合物的貢獻*小在經(jīng)過認證的潔凈室中進行清潔過程
采用 UNILOK 自己的電解拋光工藝,使接液區(qū)域具有出色的光潔度
Elgiloy? 隔膜材料具有很強的耐用性和
耐腐蝕性,可實現(xiàn)長循環(huán)壽命PCTFE 閥座材料具有出色的
耐化學性和耐熱性