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產品詳細說明
十多年來，INFICON Transpector CPM *直是半導體行業(yè)市場**的殘余氣體分析儀 (RGA) 過程監(jiān)控系統(tǒng)。現(xiàn)在，Transpector CPM 3 通過與新傳感器和電子設備集成的經過現(xiàn)場驗證的泵送和入口系統(tǒng)提供業(yè)界**的測量速度和靈敏度。Transpector CPM 3 是適用于 ALD、CVD、PVD 和蝕刻等新的和成熟的半導體工藝的理想 RGA 工藝監(jiān)視器。
Transpector CPM 3 通過以下方式為我們的合作伙伴提供經過驗證的投資回報：
行業(yè)**的測量技術
穩(wěn)健且自適應的架構
易于維護
卓越的產品支持
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