INFICON Transpector? 單壓采樣 (SPS) 殘余氣體分析儀為目標高壓工藝提供*佳的半晶圓和顯示面板保護。Transpector SPS 通過針對單壓力應用的*靈敏的空氣泄漏和工藝污染檢測,*大限度地減少晶圓和面板廢料。它提供業(yè)界**的檢測限和測量速度,以確保晶圓和面板輸出的質量和數量。
Transpector SPS 通過為穩(wěn)定的高壓過程提供*可靠的過程監(jiān)控,*大限度地提高過程吞吐量和產量。該儀器將簡單且具有成本效益的入口系統(tǒng)與經過現場驗證的離子源和泵套件相結合,提供低風險和高回報的氣體分析解決方案。Transpector SPS 是*般真空和工業(yè)應用的理想選擇,是真空電弧重熔 (VAR) 等冶金和熱處理應用的成熟解決方案。Transpector SPS 是可配置的,并且可以根據特定應用和預算進行定制。可選擇標準孔板、毛細管和旁通管線組合來采樣從 1E-4 Torr 到大氣的過程壓力。