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產品詳細說明
INFICON ALD 傳感器將石英晶體微天平 (QCM) 測量的可重復性、精度和耐用性引入原子層沉積 (ALD)。ALD 傳感器可承受高達 450°C 的溫度，設計用于在 ALD 應用的惡劣環境中運行。裸露的晶體電*完全接地，可有效消除任何潛在的電氣干擾問題。
專為 ALD 設計
INFICON ALD 傳感器的*個獨特功能是*根氣體管，用于使用惰性氣體（通常是氮氣）吹掃晶體背面和傳感器腔體。這可以防止反應室氣體進入傳感器頭，并保持晶體和電觸點的背面沒有沉積材料。該技術允許在標準 QCM 不適合的系統中進行原位測量。
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