渦輪分子真空泵 用于需要清潔高真空或超高真空 的應(yīng)用,例如核聚變的研究和開發(fā),或涂料工業(yè)和分析儀器等工業(yè)*域。
原則上,渦輪分子泵是在外殼中快速旋轉(zhuǎn)的渦輪,其中渦輪的 配備有多個(gè)轉(zhuǎn)子葉片。位于旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子葉片之間的是固定的定子盤,其葉片以相反的方向排列。
通過(guò)從旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子葉片到氣體分子的動(dòng)量傳遞,氣體分子 初的非定向熱運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)變?yōu)閺谋玫娜肟诜ㄌm沿軸向朝向前部真空法蘭的定向運(yùn)動(dòng)。
在分子流范圍內(nèi)(即壓力低于 10 -3 mbar (0.75 x 10 -3 Torr)),氣體分子的平均自由程大于轉(zhuǎn)子和定子葉片之間的間距(通常為十分之幾毫米)。相應(yīng)地,分子主要與光學(xué)密集的轉(zhuǎn)子葉片碰撞,從而產(chǎn)生**的泵送作用。在層流(恒定)流量范圍內(nèi)(即壓力超過(guò) 10 -1 mbar (0.75 x 10 -1 Torr)),轉(zhuǎn)子的效果會(huì)因分子本身之間的頻繁碰撞而受損。
由于這個(gè)原因,渦輪分子泵不能在大氣壓下泵送氣體。