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產品詳細說明
產品描述
多探針真空量測： 可選配2至4組可微調探針座，電纜接頭可選擇BNC或triaxial等形式。樣品載臺直徑可至2英寸，腔體真空度可選擇*般真空度（5×10-3 Torr）以及高真空（1×10-6 Torr）。探針X-Y-Z三方向微調，行程：6.5 mm，定位精度：10 μm。并搭配CCD進行下針及微調。
In situ等離子處理裝置： 特殊探針收回機構設計，多次量測之間可進行等離子處理程序，針對樣品進行表面等離子改質/清潔，不須破真空使得量測樣品接觸大氣而產生影響。可選配RF/DC/MF generator。
光感測： 腔體上方透明視窗采用石英玻璃，可搭配光學系統(tǒng)進行光感測元件之量測。
特定氣體感測： 特定氣體可透過質流控制器（Mass flow controller, MFC）或浮子流量計進行流量控制。
濕氣感測、有機蒸氣感測： 可選配特殊液態(tài)蒸氣導入裝置設計，可控制導入腔體之蒸氣流量，進而換算液態(tài)蒸氣之感測濃度。
低溫量測（300K~20K）： 選配閉循環(huán)低溫制冷系統(tǒng)，可達20K之低溫環(huán)境，并透過PID系統(tǒng)進行連續(xù)式控溫。高溫選配需求可達500K、低溫選配需求可達10K
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